우리나라 나노기술연구개발은 1990년대 중반부터 시작되었다. 과학기술부가 추진하는 창의연구사업, 국책연구사업, 국가지정연구실사업(NRL), 우수연구센터지원사업(SRC/ERC) 등을 통하여 나노 원리 규명과 기초연구위주로 수행되었다. 2000년도에는 21세기 프론티어 사업인 ‘테라급나노소자개발’사업을 통해 대형사업도 착수하기 시작하였다.
나노기술의 중요성이 전세계적으로 부상하자 2000년 12월 대통령은 국가과학기술위원회에서 국가적 차원의 나노기술개발을 추진하도록 지시하였다. 이에 정부는 나노기술을 미래핵심기술로 선정하고 2001년 7월에 열린 제8차 국가과학기술위원회에서 향후 10년간의 나노기술발전의 청사진을 담은 「나노기술종합발전계획」을 수립·확정하였다.
동 종합계획은 나노기술 분야에 향후 10년간 약 1조 4,850억원의 연구비를 투입하여 선진 5대국 수준의 기술경쟁력을 확보한다는 비전을 담고 있었다. 구체적인 계획에는 첫째, 연구개발에 있어서는 5대 핵심 분야 및 30개 중요 기술을 중심으로 우리의 비교우위 가능기술을 발굴·집중화하고 둘째, 석·박사 학위과정, 학제간 교육프로그램 개발 등 장단기 수요에 부응한 전문 인력 양성 프로그램을 통하여 2010년까지 12,600명의 인력을 확보하며 셋째, 핵심 인프라로서 산학연 공동 활용이 가능한 Fab. 설비를 구축하는 내용을 포함하고 있었다.
2002년 12월 26일 나노기술에 대한 개념과 정책 방향을 정립하고, 나노기술의 육성·발전을 위한 연구기반을 조성함으로써 나노기술 선진강국의 조기 진입을 위한 「나노기술개발촉진법」이 제정·공포되고, 2003년 6월 27일 시행되었다. 이로써 「나노기술종합발전계획」은 분명한 법적 근거를 확보하게 되었다.
2000년 이후 나노기술개발사업을 통하여 지원한 구체적인 내용을 다음과 같다.
첫째, 21세기프론티어개발사업에서는 세계적 수준의 나노기술을 개발하기 위해 테라급나노소재개발, 나노메카트로닉스 기술개발, 나노소재기술개발 등 전략적 분야를 선정하여 집중 지원하였다.
둘째, 연구기반구축사업에서는 국내의 취약한 나노기술 연구기반 확충 및 연구 주체간 연구 장비 공동 활용을 위해 나노종합Fab시설, 나노소자특화Fab 등 인프라사업을 추진하였다.
셋째, 나노바이오기술개발사업에서는 나노기술의 기초연구, 동향분석 및 인력양성 사업인 나노기초연구지원사업, 나노기술종합정보지원체제구축사업, 나노과학핵심기초연구실사업, 차세대 고출력 광섬유기술개발사업, 극미세구조기술개발 사업 등을 추진하였다.
넷째, 나노기술에 대한 국민의 이해를 돕고 나노기술연구개발에 대한 사회적 공감대를 형성하기 위해 홍보책자 발간 및 배포, 나노코리아 행사 등 홍보 활동을 전개하였다.